Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) создали две установки, которые позволят «решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники». Это установка безмасочной нанолитографии и установка плазмохимического травления кремния.
Первая позволяет получение изображения на подложке без использования маски: такой вариант проще и дешевле традиционного литографа, в котором используется шаблон. Так, отечественная разработка оценена в 5 млн рублей против 10 млрд рублей за иностранную. Ученые разработали ПО для управления литографом и полностью автоматизировали процесс его работы.
Что касается второй установки, то она позволяет создавать кремниевые мембраны. Руководитель научной группы Артем Осипов считает, что отечественные мембраны по надежности и чувствительности превосходят те, что изготавливаются методами жидкостного или лазерного травления.
«Применение безмасочной нанолитографии в совокупности с плазмохимическим травлением возможно для решения широкого спектра задач. Например, в радиолокационном оборудовании возможно увеличение срока службы приборов более чем в 20 раз. А применение технологии при производстве солнечных панелей позволяет уменьшить их вес и габариты, дает возможность работы в пасмурную погоду при сохранении КПД», – отметил Артем Осипов.
Ученые еще будут совершенствовать обе установки. В частности, планируется внедрить в обе машинное обучение.